유동분할시스템과 방법

System and method for dividing flow

Abstract

본 발명은 고압의 상류측 압력을 필요로 하지 않고 단일의 가스유동을 알려진 정확한 값의 둘 이상의 2차유동으로 분할하기 위한 시스템에 관한 것이다. 이 시스템은 단일가스유동을 공급받기 위한 유입구와, 이 유입구에 연결된 제1 및 제2유동라인을 포함한다. 질량유량계가 제1라인을 통한 가스유동을 측정하고 측정된 유량을 나타내는 신호를 제공한다. 제한기가 제1라인을 통한 가스유동을 요구된 유량으로 제한하며 질량유량계가 정확히 작동할 수 있도록 충분히 높고 사전에 결정된 압력상한값 보다는 낮은 상류측 압력을 제공할 수 있도록 선택된 최소단면 유동영역을 갖는다. 질량유량제어기가 질량유량계로부터 측정된 유량을 나타내는 신호를 수신하고 이러한 신호에 기초하여 제2라인을 통한 유량을 유지한다. 유동분할시스템, 질량유량제어기, 질량유량계, 유동라인.

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    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    US-4369031-AJanuary 18, 1983Thermco Products CorporationGas control system for chemical vapor deposition system

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