MEMS device and fabrication method of the same

멤스 디바이스 및 이의 제조방법

  • Inventors:
  • Assignees: 삼성전기주식회사
  • Publication Date: November 17, 2008
  • Publication Number: KR-100868759-B1

Abstract

본 발명은, 프레임; 상기 프레임과 동일 층에 형성되며, 상기 프레임에 대해 상대 운동 가능하게 연결된 구동체; 및, 상기 구동체의 높이 방향의 변위를 제한하는 적어도 하나의 스토퍼(stopper);를 구비한 것을 특징으로 하는 멤스 디바이스를 제공한다. 또한 본 발명은, 제1 기판 상에 제2 기판을 접착하는 단계; 상기 제1 기판을 부분적으로 제거하여 프레임과, 상기 프레임에 대해 상대 운동 가능하게 연결된 구동체를 형성하는 단계; 및, 상기 제2 기판을 부분적으로 제거하여 상기 구동체의 높이 방향 변위를 제한하는 적어도 하나의 스토퍼를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 멤스 디바이스 제조방법을 제공한다.

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Patent Citations (3)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-2005345294-ADecember 15, 2005Oki Electric Ind Co Ltd, 沖電気工業株式会社Acceleration sensor and its manufacturing method
    KR-100415246-B1June 12, 2004니혼 싱고 가부시키가이샤전자엑추에이터

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