Fabrication method of semiconductor integrated circuit device

반도체 집적 회로 장치의 제조 방법

Abstract

반도체 집적 회로 장치의 제조 공정에 이용하는 초순수(ultrapure water)를 제조하는 공정에서, 초순수에 이온화한 아민이 유출되는 것을 막는다. 케이싱 KOT 내에 폴리술폰막 또는 폴리이미드막 등으로 형성된 복수의 모관 형상의 중공사막 TYM을 배치하고, 이들 복수의 중공사막 TYM의 양단부를 열용착에 의해 접착하고, 또한 그 열용착에 의해 중공사막 TYM을 케이싱에도 접착하여 이루어지는 UF 모듈을 UF 장치 내에 배치하고, 이러한 UF 장치를 초순수 제조 시스템 내에 배치한다. 열용착, 중공사막, 초순수, 아민

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Patent Citations (3)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
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    KR-20000000457-AJanuary 15, 2000지은상System of manufactured for ultra pure water

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