Electrostatic Chuck System and Electrostatic Chuck having a improved cooling system

개선된 냉각 시스템을 갖는 정전척 및 정전척 시스템

  • Inventors:
  • Assignees: 주식회사 코미코
  • Publication Date: May 27, 2010
  • Publication Number: KR-100959566-B1

Abstract

본 발명은 반도체 소자의 제조에 사용되는 정전척에 관한 것으로, 더 구체적으로는, 정전척의 온도 특성을 균일하게 유지할 수 있는 개선된 냉각 시스템을 갖는 정전척 관한 것이다. 본 발명의 구성은 정전척의 하부전극 내에 형성된 유로부에 냉매 공급홀과 냉매 배출구를 각각 2개 이상으로 구성하고, 유로부를 제1유로부와 제2유로부로 구성하여 이 사이에 경계벽을 설치하며, 상기 각각의 냉매 공급 및 배출을 개별적으로 제어할 수 있도록 하여, 정전척의 에지부와 중심부의 온도를 균일하게 실현시킴으로써 온도 불균형을 방지할 수 있는 정전척을 제공할 수 있다. 냉매 공급홀, 냉매 배출홀, 경계면.

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Patent Citations (3)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-2000216140-AAugust 04, 2000Hitachi Ltd, 株式会社日立製作所Wafer stage and wafer treating apparatus
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    JP-S5160556-UMay 13, 1976

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