계층적 구조를 이용한 고감도, 쾌속반응 산화물 반도체형가스 센서 및 그 제조 방법

Highly sensitive and fast responding oxide semiconductor-type gas sensor using hierarchical structure and fabrication method thereof

Abstract

고감도, 쾌속반응 산화물 반도체형 가스 센서 및 그 제조 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 가스 센서는 다공질의 나노 계층적 구조를 가지는 산화물 반도체형 가스 센서이며, 본 발명에 따른 가스 센서 제조 방법에서는, 금속 전구체의 수열합성 반응을 일으켜 나노 계층적 구조를 가지는 산화물 반도체 침전물을 형성한 후, 상기 침전물을 세척 및 건조하여 분말을 얻는다. 그런 다음, 상기 분말로 막을 형성한 후 열처리하여 다공질의 나노 계층적 구조를 가지는 산화물 반도체형 가스 센서를 제조한다.

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Patent Citations (3)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    KR-20070066859-AJune 27, 2007한국과학기술연구원Ultra-sensitive metal oxide gas sensor and fbrication method thereof
    KR-20070069134-AJuly 02, 2007피비아이-댄센서 에이/에스산소 센서 및 그를 이용하는 방법

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    US-9285332-B2March 15, 2016Korea Institute Of Science And TechnologyLow power consumption type gas sensor and method for manufacturing the same